2026/3/5 ご挨拶
今泉研究室では、マイクロ・ナノ工学および電子材料工学を基盤とし、半導体材料や機能性薄膜の研究開発、ならびにロボットシステムなどの工学応用に関する研究に取り組んでいます。材料開発からシステム開発まで幅広いテーマを扱い、基礎研究と実践的なものづくりの両面を重視した研究活動を行っています。
研究では、半導体プロセス技術や微細加工技術を活用した新規材料の開発、機能性デバイスの創出、さらにロボット技術やセンサ技術を用いたシステム開発など、機械工学と電気電子工学の融合領域を対象としています。学生は研究活動を通して、問題発見力、設計力、実験・解析能力など、将来の技術者として必要な実践力を身につけます。
また、学会発表や研究会などを通じて研究成果を積極的に発信し、社会や産業への応用につながる研究を目指しています。
主な研究分野
- マイクロ・ナノ工学
- 電子材料・半導体材料
- 微細加工プロセス
- 自律移動ロボット・ロボットシステム
これまでの主な研究テーマ
- 強誘電体薄膜（BiFeO? など）の材料特性評価とデバイス応用
- 鉛フリー強誘電体を用いたマイクロスケール形状記憶材料の開発
- β-Ga2O3など酸化物半導体薄膜の形成技術と欠陥制御
- ワイドギャップ半導体の表面制御技術とパワーデバイス応用
- 半導体プロセス（スパッタリング・CVD・エッチング等）を用いた薄膜デバイス開発
- センサ技術やGNSSを利用した計測・位置推定技術
- 自律移動ロボットの設計・開発および屋外走行システム
- ロボットカーや移動ロボットを用いた走行制御・障害物回避技術
学生の研究テーマ例
- 自律移動ロボットのナビゲーション技術
- センサデータを用いた位置推定・環境認識
- 薄膜材料の成膜条件と電気特性の評価
- 半導体プロセスを用いた機能性材料デバイスの開発