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加藤研究室
   〜「機械工学発のハイブリッドテクノロジーへ!」〜


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研究設備



◆示差走査熱量計(DSC)◆






様々な試料を加熱、冷却する際に試料内で発生する熱エネルギーの変化を検出する熱分析装置で、主に有機無機材料や機能層成分における基礎物性の測定から吸熱・発熱による相分離構造の変化の検証に用います。電気冷却式で液体窒素の供給の必要が無く、−90〜725℃の範囲で測定が可能です。測定レンジが±400mVであり、熱量変化が大きい試料の測定も可能です。Rigaku製のThermo Plus EVO2 DSCvestaです。




◆回路素子測定器(LCRメータ)◆




電子回路(電子素子)のインダクタンス(L)、キャパシタンス(C)、レジスタンス(R)、インピーダンス(Z)などを測定する装置で、測定周波数は1mHz〜5.5MHzまでの帯域で測定することが可能です。(株)NF回路設計ブロックのZM2376です。




◆低抵抗 抵抗率計◆



導電性プラスチック、透明導電膜、金属薄膜などの表面抵抗率や体積抵抗率(比抵抗)、導電率を計測する装置です。JSIK7194に準拠した測定法で4端子プローブを試料に直接接触させることによる測定が可能です。測定レンジは10-4から107の広範囲で測定が可能で、測定結果はUSBメモリに出力が可能です。三菱ケミカルアナリテック製のロレスターGX MCP-T700です。




◆屋内光評価用LED光源◆




光電変換素子(太陽電池)の屋内使用における性能を評価するための調光機能付きLED光源です。LED光源は256段階のデジタル調光が可能で、200Lxの低照度から1000Lxの高照度での発電特性が測定可能です。光の有効照射面積は50o×50oです。分光計器株式会社製のBLD-100です。




◆ホモジナイザー◆




不溶性、難溶性物質を液体中に均一に分散させて、再凝集の起こりにくい安定した分散液を作製する装置。最大で12000rpmの高速回転による機械的分散・撹拌処理を行い、特殊な機能層作製のためのインク作製に用います。AS ONE製のHM-310で数ミリリットルの少量のインク作製が可能です。最大処理量は2リットルです。



◆接触角計◆








基板表面の濡れ性や表面の汚染度、洗浄度を測定します。接触角算出公式として最も一般的に用いられているヤング公式に基づく接触角測定モデルATAN1/2θ法により液滴画像の座標解析から接触角を算出します。株式会社エキシマ製のModel:Simage Entryです。




◆分析天秤◆

  


材料の秤量に用いるための分析天秤です。校正分銅内臓型で、自動校正機能があります。また測定結果をパソコンへ送信できる機能も付いています。読み取り限度は0.0001gです。島津製作所製のType:ATK84と新光電子製(ViBRA)のType:HTR-80です。



◆卓上コーター◆





ワイヤーバーやアプリケーターを用いて、均一塗工を自動で行う装置です。有機材料や無機材料の大面積塗布に使用します。塗工速度は0.6〜6.0m/min、有効ストロークは430mmです。三井電気精機株式会社製のTC-1型です。



◆表面改質装置◆






表面改質装置:UV-O3クリーナーは超短波長(185nm)の光と酸素との反応によるオゾンの発生と、短波長の光(254nm)の持つ化学結合解離効果とを組み合わせた光化学的酸化分解プロセスによって、湿式洗浄では除去することのできない有機汚染物質を除去する装置です。素子の基板の洗浄等に使用します。フィルジェン株式会社製のType:UV253Eです。
 



◆太陽電池特性測定装置◆






太陽電池に単色光をリアルタイムフィードバックシステムにより、波長依存性のない定エネルギー、定フォトンを太陽電池に照射し、光電流から分光感度特性及び量子効率特性の測定を行うシステムです。I-V特性、分光感度特性、拡散反射率測定、外部量子収率測定、内部量子収率測定など太陽電池の様々な特性測定が可能です。測定波長域は300nm〜1700nmです分光計器株式会社製のType:CEP-2000RSです。




◆ソーラーシミュレーター◆







実太陽光の波長スペクトルに非常に近い光を照射し、コンピュータ制御により太陽電池の発電電圧、電流を計測し、曲線因子と光電変換効率を算出する装置です。照射照度は100mW/cm2で放射照度場所むら、照度時間変動率、スペクトル合致度はJISC8912等級A対応です。ソフトウェアーにより様々な条件での測定が可能です。三永電気製作所製のType:XES-40S1です。



◆スクリーン印刷機◆


有機材料や無機材料などの成膜に用います。スクリーンの厚みや形状、更に塗工速度を変えることにより、様々な膜厚や形状の膜を形成させることができます。手動印刷機ですので、小面積への塗布に適しています。主にスキージ塗布やスクリー印刷により色素増感型太陽電池や熱電変換素子の電極を作製します。ミタニマイクロニクス株式会社製のMEC2400型です。



電子寿命拡散測定装置◆








SLIM-PCV(Stepped Light-induced Transient Measurements of Photocurrent and Voltage)法の測定理論に基づきサンプルセルレベルにおけるDSCの電子移動特性、"電子拡散係数(D)"及び"電子寿命(τ)"を測定することができます。英弘精機株式会社製のType:PSL-100です。




◆紫外可視分光光度計



溶液や固体、薄膜やフィルムなどの光吸収スペクトルや透過スペクトルなどを計測します。主に有機薄膜材料の吸光度やスペクトル測定に使用しています。スペクトルバンド幅は1nmで190nmから1100nmの波長域での測定が可能です。ダブルビーム測光方式でスタンドアローン/PC制御どちらでも使用可能な高機能タイプです。株式会社島津製作所製のType:UV-1800です。





◆熱電特性評価装置◆




薄膜や棒状の半導体材料の熱電特性を評価する装置です。主に熱電変換特性の指標となるゼーベック係数の測定に用います。小型ヒーターで試料端面を加熱して試料両端に温度差を付け、試料側面に押し当てたプローブ間の起電力を計測します。V-Iプロットの自動測定機能など様々な機能があります。室温から800℃までの温度域での計測が可能です。アルバック理工株式会社製のType:ZEM-3(M8)です。



◆スピンコーター◆


平滑な基材を高速回転させる事により遠心力で薄膜を構成することができます。回転速度が速いほど、生成される薄膜は薄くなります。回転数は200rpmから6000rpmの範囲で任意に変えることができます。主に薄膜の成膜に使用します。ウェハー4インチφ のサイズまで成膜が可能で、数nmまでの薄膜作製が行えます。株式会社共和理研製のType:K359S-1です。





◆サーモグラフィー◆


物体から発する熱エネルギーを視覚化し計測することが可能です。赤外線エネルギーは人間が見ることができる可視領域よりも、波長が長い領域の光です。赤外線を面として視覚化した温度分布をリアルタイムに表示することが可能です。主に熱電変換素子の温度分布の測定やフィールド実証試験に使用します。フリアーシステムズ社製のTpye:I3です。




◆真空蒸着装置◆


ターボ分子ポンプを搭載した高速真空引きが可能な抵抗加熱式真空蒸着装置。メインポンプを停止させることなく、真空槽の解放が行うことができます。真空蒸着とは金属や化合物などの材料を高真空状態で加熱することにより、蒸発原子・分子が蒸発源から直進して対向する基板上に凝縮し、堆積させて薄膜を形成する方法です。アルバック機工株式会社製のType:VTR-350Mです。





◆機能液作製装置◆


発電素子や発光素子の作製には機能層や発電層、発光層を作製するための機能液(インク)を作製する必要があります。この装置群は機能液を作製するための装置です。写真中央は任意に設定した温度や回転数で液体を加熱攪拌する装置です。




◆マッフル炉◆




マッフル炉は、熱源の燃焼ガスや火炎を直接試料に接触させないために、耐火物の隔壁(マッフル)を備えた加熱炉です。試料は隔壁を介して加熱されるため、熱源からの試料への汚染を防ぐ事ができます。電気マッフル炉は熱源がガスや油ではなく電気式なので、熱源からの汚染物質の発生は僅かであり、試料への汚染をごく僅かに抑える事ができます。当研究室では、試料の乾燥、焼成などに使用し、特に太陽電池の電極作製に用いています。ヤマト科学株式会社製のType:KDF-80です。




◆表面形状測定装置◆









表面の段差、形状、粗さなどを高精度に測定することができる、最新の触針式表面形状測定装置です。数nmの段差や形状の測定が可能であり、任意の範囲を自動測定し、3D表示することも可能です。表面形状をCCDカメラで観察することできます。当研究室では機能層や発電層などの表面解析に用いています。(米)BRUKER社製のDektak-XTです。



◆ドラフトチャンバー◆





化学物質等を扱う際に使用する局所排気装置です。光に弱い物質を使う場合が多いため、一時的に紙とアルミホイルで遮光しています。







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